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多晶硅专利技术专辑(586项) - 编号:Z0167
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0001轻掺杂漏极结构的低温多晶硅薄膜晶体管及其制作方法
0002用三氯氢硅和四氯化硅混合源生产多晶硅的方法
0003在半导体制作过程中通过氘以形成多晶硅层的方法
0004蚀刻多晶硅层以形成多晶硅闸极的方法
0005多晶硅氢还原炉的可变截面积进气口装置
0006利用侧墙和多晶硅固相扩散制作纳米CMOS器件的方法
0007一种功率型多晶硅发射极晶体管
0008薄膜晶体管的多晶硅层及其显示器
0009多晶硅融化掺氮生长微氮硅单晶的方法
0010多晶硅太阳能电池转换效率的测试方法
0011改善蚀刻多晶硅的均匀性和减少其蚀刻速率变化的方法
0012N型掺杂多晶硅的制造方法
0013多晶硅结晶方法、薄膜晶体管及其液晶显示器的制造方法
0014降低多晶硅层洞缺陷的方法
0015多晶硅界定阶跃恢复器件
0016用于薄膜晶体管的多晶硅薄膜及使用该多晶硅薄膜的显示器件
0017多晶硅棒及其加工方法
0018去除多晶硅残留的方法
0019去除多晶硅残留的方法
0020多晶硅间介电层的制造方法
0021低温多晶硅有机电激发光装置的制法
0022一种单层多晶硅可电擦除可编程只读存储器
0023形成多晶硅连接的深沟动态随机存取存储器单元的方法
0024低电压操作的单一多晶硅快闪存储单元结构及其阵列
0025多晶硅栅极蚀刻后的无机抗反射涂层的干式各向同性移除
0026多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
0027制作多晶硅薄膜的方法
0028避免于内存组件形成多晶硅纵梁的方法
0029多晶硅膜的制造方法
0030多晶硅表面金属杂质的清除
0031由多晶硅炉料制备熔硅熔料的方法
0032注入氟的多晶硅缓冲局部氧化半导体器件的制造方法
0033用多晶硅原料制备熔硅的方法
0034在集成电路上制造互连的多晶硅对多晶硅低电阻接触方法
0035利用氧化物与多晶硅隔离垫制造高密度集成电路的方法
0036引入堆叠箱式电容单元的数兆位动态存储器的劈开-多晶硅CMOS工艺
0037一种定向凝固生长太阳能电池用的多晶硅锭工艺
0038绝缘层上多晶硅的激光加热再结晶方法
0039一种多晶硅自对准双极器件及其制造工艺
0040在多晶硅上具有平滑界面的集成电路
0041用干法刻蚀多晶硅的局部氧化硅法
0042具有多晶硅薄膜的半导体器件
0043利用晶界形成半导体器件中的两层多晶硅栅极的方法
0044多晶硅棒及其制造方法
0045多晶硅电阻及其制造方法
0046具有半绝缘多晶硅吸杂位置层的半导体衬底及其制造方法
0047具有掺杂多晶硅层构成的互连的半导体器件的制造方法
0048多晶硅的腐蚀方法和腐蚀装置
0049梯形多晶硅插塞及其制造方法
0050稳定的多晶硅电阻器和制造它的方法
0051利用多晶硅半球的晶粒回蚀刻来形成电容器的方法
0052改进的多晶硅-硅化物
0053一种用于表面工艺多晶硅结构释放的方法
0054增进多晶硅电阻稳定性的结构及其方法
0055具有P*多晶硅栅极的金属氧化物半导体晶体管的制作方法
0056多晶硅的制造方法和装置
0057可靠的具有减小的薄膜电阻的多晶硅-硅化物栅极叠层
0058形成具有多晶硅-硅化钛结构的栅极的方法
0059三层多晶硅嵌入式非易失性存储器单元及其制造方法
0060用多晶硅炉料制备硅熔体的方法
0061多晶硅二极管的静电放电保护装置
0062具有电流增益的单一多晶硅DRAM存储单元及其制造方法
0063利用放热反应制备多晶硅的方法
0064用多晶硅掩模和化学机械抛光制造不同栅介质厚度的工艺
0065用场效应管和双极基极多晶硅层制造多晶硅电容器的方法
0066单个多晶硅快闪电可擦除只读存储器及其制造方法
0067制作多晶硅-多晶硅/MOS叠层电容器的方法
0068多晶硅电阻器及其制造方法
0069多晶硅薄膜的制造方法
0070多晶硅膜表面处理溶液和采用该溶液的多晶硅膜表面处理方法
0071多晶硅的评价方法
0072高质量单晶制造中堆积和熔化多晶硅的方法
0073使用氮化工艺的多晶硅化金属栅极制程
0074具有基片触点和多晶硅桥接单元的半导体只读存储装置
0075多晶硅化钨栅极的制造方法
0076采用多晶硅温度二极管的集成风速计及其制造方法
0077横向多晶硅PIN二极管及其制造方法
007870纳米多晶硅栅刻蚀-氟化+反应离子刻蚀方法
0079制备多晶硅颗粒的方法和装置
0080多晶硅化学气相沉积方法和装置
0081为快速擦写存储器装置的多晶硅提供掺杂质浓度的方法
0082评定多晶硅的方法和系统及制造薄膜晶体管的方法和系统
0083多晶硅、其生产方法及生产装置
0084用于评估多晶硅薄膜的装置
0085基于二氯甲硅烷的化学汽相淀积多晶硅化物膜中异常生长的控制
0086为快速电可擦除可编程只读存储器单元形成相对于有源区自对准的浮动栅多晶硅层的方法
0087液晶显示器的多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
0088低温下用顺序横向固化制造单晶或多晶硅薄膜的系统和方法
0089用顺序横向固化制造均匀大晶粒和晶粒边界位置受控的多晶硅薄膜半导体的方法
0090多晶硅薄膜及其组件的制备方法
0091多晶硅介质平坦化的方法
0092制备三氯氢硅和多晶硅的改进方法和装置
0093用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
0094监控两层多晶硅叠栅未对准的方法
0095多晶硅-绝缘层-金属结构的电容及其制作方法
0096高纯多晶硅的无损材料检测方法
0097一种制作多晶硅发射极界面层的方法
0098提高多晶硅栅极层厚度均匀性的方法
0099用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
0100多晶硅基片结晶度的测量方法及其应用
0101使用透明基板制造多晶硅膜的方法和装置
0102多晶硅铸锭炉的炉体保护装置
00103多晶硅铸锭炉的硅液溢流保护系统
00104多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
0105多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置
0106挡板晶圆及其所用的随机定向多晶硅
0107低温多晶硅薄膜制造方法
0108一种用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
0109多晶硅铸锭炉的硅液溢流承接装置
0110多晶硅硅化物电熔丝器件
0111自缓释金属诱导晶化多晶硅薄膜材料的制备方法及应用
0112气体分布控制系统及多晶硅栅极刻蚀与硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法
0113闪存装置制造中用于多晶硅-1定义非临界互补掩膜方法
0114多晶硅自对准插塞的制作方法
0115半导体器件的着片多晶硅接触结构及栅极结构的制造方法
0116包括低温多晶硅薄膜晶体管的影像显示系统及其制造方法
0117非离子型聚合物在自停止多晶硅抛光液制备及使用中的应用
0118制备大面积多晶硅方法
0119改善多晶硅缺陷的方法
0120多用途多晶硅边缘测试结构
0121一种单层多晶硅栅可编程器件及其形成方法
0122一种单层多晶硅栅MTP器件及其制造方法
0123双极CMOS器件多晶硅刻蚀方法
0124多晶硅刻蚀的方法
0125量测多晶硅线底部形状的方法
0126一种多晶硅电容耦合OTP器件及其制造方法
0127一种多晶硅刻蚀的方法
0128一种单层多晶硅栅OTP器件及其形成方法
0129用高密度等离子氧化层作为多晶硅层间绝缘层的分隔栅的构成
0130多晶硅的制造方法
0131一种改进型栅极多晶硅掩膜层去除方法
0132多晶硅栅层的沉积方法
0133一种多晶硅刻蚀腔室中阳极氧化零件表面的清洗方法
0134包含多晶硅的半导体器件及其制造方法
0135多晶硅的制备
0136高能束流多晶硅提纯装置
0137具有多晶硅多层绝缘结构的非易失性存储单元
0138一种多晶硅刻蚀腔室中陶瓷材料零件表面的清洗方法
0139多晶硅氢还原炉的硅芯棒加热启动方法
0140一种消除多晶硅刻蚀过程出现缝隙的方法
0141低温多晶硅薄膜制作方法
0142具有轻掺杂漏极区的多晶硅薄膜晶体管的制造方法
0143在屏蔽的栅极场效应晶体管中形成多晶硅层间电介质的结构和方法
0144多晶硅的等离子生产方法及其装置
0145一种可改善多晶硅栅极侧面轮廓的栅极制作方法
0146多晶硅薄膜太阳能电池专用设备
0147表面加工多晶硅薄膜热膨胀系数的电测试方法
0148倾倒式多晶硅真空拉锭炉
0149多晶硅栅表面的清洗方法
0150多晶硅太阳能电池织构层的制备方法
0151多晶硅膜微压传感器
0152在线淀积LPCVD多晶硅石英系统保护层装置
0153一种利用多晶硅构建ESD泄放通道的防护器件
0154用等离子方法生产多晶硅的装置
0155多晶硅铸锭炉的硅液溢流保护系统
0156多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置
0157多晶硅铸锭炉的热场结构
0158多晶硅铸锭炉的硅液溢流承接装置
0159多晶硅铸锭炉用石墨坩锅
0160多晶硅氢还原炉
0161多晶硅氢还原炉
0162多晶硅氢还原炉
0163多晶硅氢还原炉
0164多晶硅氢还原炉进气喷口
0165适用于低压常规电源加热启动的多晶硅氢还原炉
0166多晶硅氢还原炉测温视镜结构
0167改进型多晶硅还原炉
0168多晶硅氢还原炉
0169多晶硅薄膜的制造方法
0170薄膜晶体管的多晶硅制造方法
0171低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
0172低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法
0173多晶硅薄膜晶体管液晶显示器的电路布局方法
0174具多个共通电压驱动电路的多晶硅薄膜晶体管液晶显示器
0175于基板上形成多晶硅层的方法
0176半导体电路制造的多层多晶硅瓦片结构
0177形成多晶硅层的方法
0178用于增加多晶硅熔化速率的间歇式加料技术
0179用于结晶多晶硅的掩膜及利用该掩膜形成薄膜晶体管的方法
0180具有多晶硅薄膜晶体管的液晶显示器及其制造方法
0181包括多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置及其制造方法
0182形成低温多晶硅薄膜晶体管的方法
0183底栅控制型多晶硅薄膜晶体管的制造方法
0184低温多晶硅平面显示面板
0185多晶硅层的结晶方法
0186多晶硅薄膜的制造方法
0187多晶硅薄膜的制造方法
0188低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
0189具有多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置
0190多晶硅的制作方法和使用多晶硅的开关器件
0191多晶硅层结构与其形成方法以及平面显示器
0192制造多晶硅层的方法
0193提高深亚微米多晶硅栅刻蚀均匀性的方法
0194半导体元件与其中的多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
0195具有多晶硅源极接触结构的沟槽MOSFET器件
0196多晶硅层的处理方法
0197形成多晶硅层及多晶硅薄膜晶体管的方法
0198一种具有金属上扩散层的金属诱导多晶硅薄膜制造方法
0199多栅双沟道结构的多晶硅薄膜晶体管
0200基于电感耦合等离子体刻蚀多晶硅及制备超细线条的方法
0201半导体器件及制作一低温多晶硅层的方法
0202具有多晶硅熔丝的半导体器件及其微调方法
0203在半导体制程中避免多晶硅纵樑形成的半导体结构
0204利用自行对准金属硅化物制程形成多晶硅电容器的方法
0205具有电压维持区域并从相反掺杂的多晶硅区域扩散的高电压功率MOSFET
0206制作低温多晶硅薄膜的方法
0207制造多晶硅层的方法及其光罩
0208一种制备多晶硅绒面的方法
0209避免沟槽底部毛边生成的多晶硅刻蚀工艺
0210减小微沟道效应的多晶硅刻蚀工艺
0211多晶硅薄膜的制造方法和用多晶硅薄膜制造的显示器件
0212包括多晶硅薄膜晶体管的液晶显示器件及其制造方法
0213用场效应管和双极基极多晶硅层制造多晶硅电容器的方法
0214多晶硅薄膜制造方法以及使用该多晶硅薄膜的设备
0215测量多晶硅薄膜热膨胀系数的测量结构及其测量方法
0216超小粒径多晶硅的结构和方法
0217三维多晶硅只读存储器及其制造方法
0218光罩与应用其形成多晶硅层的方法
0219集成电路多晶硅高阻电阻的制作方法
0220低温多晶硅薄膜的制造方法
0221多晶硅膜的形成方法
0222多晶硅膜的形成方法
0223制造多晶硅薄膜的方法及用其制造晶体管的方法
0224多晶硅薄膜晶体管的多晶硅膜的形成方法
0225多晶硅衬底和太阳能电池的制备方法
0226利用多晶硅的薄膜晶体管制造方法
0227具复合多晶硅层的半导体结构及其应用的显示面板
0228半导体元件和在其中形成多晶硅层的制造方法
0229制造多晶硅薄膜的方法和使用该多晶硅的薄膜晶体管
0230无粉尘且无微孔的高纯度粒状多晶硅
0231形成多晶硅锗层的方法
0232用于制造垂直DRAM中的钨/多晶硅字线结构的方法及由此制造的器件
0233多晶硅化金属栅极结构及其制造方法
0234制备具有W/WN/多晶硅分层薄膜的半导体器件的方法
0235低温多晶硅薄膜电晶体基板及其制作方法
0236多晶硅层的制作方法
0237由多晶硅装料制备熔化的硅熔体的方法和装置
0238采用多晶硅栅和金属栅器件的半导体芯片
0239在双金属/多晶硅氧化物氮化物氧化物硅阵列中的联结及选取步骤
0240制造具有低温多晶硅的顶栅型薄膜晶体管的方法
0241用于动态阈值电压控制的多晶硅背栅SOI MOSFET
0242形成多晶硅层以及制作多晶硅薄膜晶体管的方法
0243用于薄膜晶体管的多晶硅薄膜和使用该多晶硅薄膜的器件
0244多晶硅的蚀刻方法
0245形成多晶硅层的方法以及制造多晶硅薄膜晶体管的方法
0246多晶硅薄膜结晶品质的检测装置及其检测与控制方法
0247多晶硅层的制作方法
0248利用准分子激光退火工艺制作多晶硅薄膜的方法
0249多晶硅薄膜的晶粒尺寸的控制及其检测方法
0250多晶硅自行对准接触插塞与多晶硅共享源极线及制作方法
0251一种四氯化硅、多晶硅和石英玻璃的联合制备法
0252一种低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
0253多晶硅薄膜晶体管阵列板及其制造方法
0254多晶硅薄膜、其制法以及用该膜制造的薄膜晶体管
0255内嵌单层多晶硅非易失性存储器的集成电路
0256低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法
0257具多晶硅射极双极性晶体管的制造方法
0258用于宽编程的双金属/多晶硅氧化物氮化物氧化物硅存储器单元
0259玻璃衬底的预多晶硅被覆
0260低温多晶硅薄膜的制造方法及低温多晶硅薄膜晶体管
0261低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
0262低温多晶硅薄膜的制造方法
0263低温多晶硅薄膜晶体管及其多晶硅层的制造方法
0264制备多晶硅的方法
0265一种在陶瓷衬底上沉积大晶粒多晶硅薄膜的方法
0266多晶硅的定向生长方法
0267陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池
0268光及电可编程硅化多晶硅熔丝器件
0269将非晶硅转换为多晶硅的方法
0270具厚膜多晶硅的静电放电防护元件、电子装置及制造方法
0271低温多晶硅薄膜电晶体的结构
0272利用准分子激光再结晶工艺来制作多晶硅薄膜的方法
0273利用准分子激光再结晶工艺来制作多晶硅薄膜的方法
0274多晶硅薄膜的制造方法
0275一种多晶硅栅刻蚀终点的检测方法及检测装置
0276减少在氮离子注入时产生多晶硅化金属空洞的方法
0277由P+或者N+掺杂多晶硅形成其传输门电路的图像传感器像素
0278光电二极管上设有多晶硅层的图像传感器及像素
0279一种用于制备多晶硅绒面的酸腐蚀溶液及其使用方法
0280多晶硅薄膜晶体管的制作方法
0281多晶硅薄膜残余应变的在线检测结构及检测方法
0282低温多晶硅显示装置及其制作方法
0283一种抑制多晶硅针孔的多晶硅层缓冲局部场氧化硅结构工艺方法
0284多晶硅液晶显示器件的制造方法
0285具有多晶硅层的薄膜晶体管、制造方法及平板显示器
0286具有高性能集成电路多晶硅凝集熔消组件的互补金属氧化物半导体的工艺
0287以连续式侧向固化法形成多晶硅膜的方法及其光罩图案
0288电热致动多晶硅柔性铰支承杠杆式微夹钳
0289多晶硅的生产装置
0290形成具高电阻值的多晶硅薄膜的方法
0291利用双镶嵌工艺来制造T型多晶硅栅极的方法
0292利用双镶嵌工艺来形成T型多晶硅栅极的方法
0293形成T型多晶硅栅极的方法
0294一种纳米线宽多晶硅栅刻蚀掩膜图形的形成方法
029515-50纳米线宽多晶硅栅的刻蚀方法
0296应用于高效能薄膜晶体管的多晶硅退火结构及其方法
0297化学机械抛光用于接合多晶硅插拴制造方法及其结构
0298形成多晶硅的方法和在硅基材料中的MOSFET器件
0299具有多晶硅插头的半导体器件的制造方法
0300制造双层多晶硅存储器元件的方法
0301形成多晶硅结构
0302在半导体装置中形成多晶硅层的方法
0303制备多晶硅薄膜的方法以及用其制备半导体器件的方法
0304制造双层多晶硅可改写非挥发性存储器的方法
0305低温多晶硅薄膜晶体管及其通道层的制造方法
0306低温多晶硅薄膜晶体管全集成有源选址基板及制备方法
0307低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
0308多晶硅细脉熔丝
0309一种制备多晶硅的方法
0310制造内层多晶硅介电层的方法
0311多晶化方法、制造多晶硅薄膜晶体管的方法及用于该方法的激光辐照装置
0312形成具有粗糙表面的多晶硅的方法
0313多晶硅薄膜晶体管制造方法
0314改善栅极多晶硅层电阻值的方法
0315多晶硅薄膜晶体管的形成方法
0316彩色多晶硅微粒及其制备方法
0317平坦多晶硅薄膜晶体管的制作方法
0318闪存储器用的多层叠层多晶硅栅的平整方法
0319激光退火多晶硅薄膜晶体管栅绝缘层的制备方法
0320具有多晶硅层的显示面板及其制造方法
0321多晶硅薄膜晶体管离子感测装置与制作方法
0322用于多晶硅制作的辅助激光结晶的方法
0323形成多晶硅薄膜的方法,包含多晶硅薄膜的薄膜晶体管及其制造方法
0324浸沾法金属诱导碟形晶畴多晶硅薄膜材料及制备和应用
0325多晶硅化学机械研磨法来增进栅极微影能力的方法
0326带有掺杂多晶硅场发射阴极阵列结构的平板显示器及其制作工艺
0327溶液法金属诱导晶化大晶粒多晶硅薄膜材料及制备和应用
0328低温多晶硅薄膜晶体管显示面板及其制造方法
0329硅薄膜退火方法和由该方法制造的多晶硅薄膜
0330薄膜晶体管与多晶硅层的制造方法
0331一种制备太阳能级多晶硅的方法
0332具有多晶硅浮动隔离层的镜像存储单元晶体管对
0333激光辐射方法和形成多晶硅薄膜的装置
0334有机发光二极管显示面板及其多晶硅通道层的形成方法
0335具有单层多晶硅的镜像非易失性存储器单元晶体管对
0336单层多晶硅电可擦可编程只读存储器
0337一种多晶硅生产过程中的副产物的综合利用方法
0338一种改善线条粗糙度的多晶硅刻蚀方法
0339一种多晶硅刻蚀工艺中的颗粒控制方法
0340一种能够消除残气影响的多晶硅刻蚀工艺
0341一种提高各向异性的多晶硅脉冲刻蚀工艺
0342一种减少颗粒产生的多晶硅栅极刻蚀工艺
0343一种能够防止器件等离子体损伤的多晶硅刻蚀工艺
0344具有平坦表面的多晶硅薄膜及其制造方法
0345一种多晶硅振动膜硅微电容传声器芯片及其制备方法
0346精密多晶硅电阻器工艺
0347用于减小多晶硅高度的SOI底部预掺杂合并e-SiGe
0348多晶硅-绝缘层-多晶硅电容和高阻多晶硅器件及制作方法
0349用于沉积多晶硅的CVD装置
0350一种多晶硅刻蚀中的干法清洗工艺
0351多晶硅薄膜制造方法和具有其的薄膜晶体管的制造方法
0352一种去除多晶硅刻蚀工艺中残留聚合物的方法
0353一种防止多晶硅刻蚀中器件等离子损伤的刻蚀工艺
0354降低多晶耗尽效应的制作多晶硅栅极晶体管的方法
0355双胆碱和三胆碱在涂石英多晶硅和其它材料清洁中的用法
0356一种太阳能电池用高纯多晶硅的制备方法和装置
0357一种生产多晶硅用的还原炉
0358限定多晶硅图案的方法
0359激光薄膜多晶硅退火光学系统
0360激光薄膜多晶硅退火系统
0361单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法
0362单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭加热器的制备方法
0363多晶硅的制造方法
0364多晶硅栅极掺杂方法
0365多晶硅薄膜晶体管液晶显示面板及其制造方法
0366用于连续横向固化技术的掩膜及用其形成多晶硅层的方法
0367具有低掺杂漏极结构的低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
0368薄膜晶体管的制造方法与修补多晶硅膜层之缺陷的方法
0369用于在衬底上淀积多晶硅层的装置
0370用于多晶硅低温结晶化的金属催化剂掺杂装置及通过该装置进行掺杂的方法
0371高压水气退火的多晶硅薄膜晶体管组件的制作方法
0372铸模及其形成方法,和采用此铸模的多晶硅基板的制造方法
0373形成多晶硅薄膜的方法及用该方法制造薄膜晶体管的方法
0374低温多晶硅液晶显示结构及其制造方法
0375形成多晶硅薄膜的方法
0376薄膜晶体管及低温多晶硅薄膜晶体管之多晶硅层的制造方法
0377廉价多晶硅薄膜太阳电池
0378P型太阳能电池等级多晶硅制备工艺
0379一种用稻壳制备太阳能电池用多晶硅的方法
0380采用无氯烷氧基硅烷制备多晶硅的方法
0381双掺杂多晶硅及锗化硅的蚀刻
0382利用双多晶硅的位线注入
0383一种低温多晶硅薄膜器件及其制造方法与设备
0384用于应变硅MOS晶体管的多晶硅栅极掺杂方法和结构
0385一种锌还原法生产多晶硅的工艺
0386一种太阳能级多晶硅的生产方法
0387直接沉积多晶硅的方法
0388高压集成电路中制作高阻值多晶硅电阻的方法
0389适用于有机发光二极管显示器的多晶硅薄膜象素电极
0390多晶硅/体硅ESD结构保护的垂直双扩散金属氧化物半导体功率器件
0391多晶硅ESD结构保护的垂直双扩散金属氧化物半导体功率器件
0392多晶硅板制备方法
0393多晶硅薄膜、其制法以及用该膜制造的薄膜晶体管
0394单层多晶硅非易失性存储器装置的操作方法
0395择优取向的多晶硅薄膜的制备方法
0396多晶硅太阳能发电并网装置
0397具有多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置
0398使用固体激光器退火的多晶硅薄膜制备半导体器件的方法
0399低电压单层多晶硅电可擦编程只读存储器(EEPROM)存储单元
0400叠层储存电容器结构、低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器
0401一种在集成电路中使用α多晶硅的方法
0402用于静电放电保护的改善多晶硅-源区边界电场的结构
0403一种多晶硅存储元件及其制备方法
0404多晶硅炉的喷嘴
0405多晶硅薄膜的制作方法
0406多晶硅层、制造其的方法和平板显示器
0407多晶硅层、使用其的平板显示器及其制造方法
0408多晶硅太阳电池绒面的制备方法
0409形成多晶硅薄膜的方法
0410一种减少多晶硅生长工艺崩边的石英舟
0411具有金属和多晶硅栅电极的高性能电路及其制造方法
0412一种掺杂锗的定向凝固铸造多晶硅
0413利用浮动和/或偏置多晶硅区域的静电保护系统和方法
0414表面修饰溶液诱导晶化多晶硅薄膜的制备方法
0415多晶硅横向结晶方法以及应用其制造的多晶硅薄膜晶体管
0416具有发射极多晶硅源/漏区的EEPROM单元的制造
0417多晶硅层以及薄膜晶体管的制造方法
0418供高温力学量传感器用的纳米多晶硅-氮化铝隔膜-硅单晶衬底基片
0419生成低电阻自对准多晶硅化物栅极和台面接触区MOSFET器件的结构和方法
0420多晶硅膜的制造方法以及薄膜晶体管的制造方法
0421一种利用多晶硅构建ESD泄放通道的防护电路
0422形成多晶硅薄膜装置的方法
0423将非晶硅结晶成多晶硅的方法及使用于此方法之光刻掩膜
0424一种单一内嵌多晶硅存储结构及其操作方法
0425利用纵向多晶硅增加静电泄放通道的静电放电防护器件
0426多晶硅的除硼方法
0427用于增加多晶硅熔化速率的间歇式加料技术
0428一种太阳能多晶硅原料提纯制备方法
0429通过自对准形成多晶硅浮栅结构的方法
0430蘸取式多晶硅太阳能电池p-n结的制作方法
0431多晶硅晶棒的制造方法
0432低温直接沉积多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
0433低温多晶硅薄膜晶体管结构及其制造方法
0434多晶硅薄膜晶体管阵列基板及其制造方法
0435用于制造单晶或多晶材料、尤其是多晶硅的装置和方法
0436用于显示影像的系统及低温多晶硅的激光退火方法
0437一种单层多晶硅、多位的非易失性存储元件及其制造方法
0438用单层多晶硅工艺形成高薄层电阻量电阻器和高电容量电容器
0439在金属和多晶硅化学机械研磨中减少大图案凹陷的方法
0440多晶硅锭制造装置
0441尤其在闪存中用于刻蚀多晶硅上钨硅化物的方法
0442利用多晶硅区的I/OESD保护的系统和方法
0443一种多晶硅的提纯方法及其凝固装置
0444太阳能级多晶硅大锭的制备方法
0445高效太阳能电池用微晶多晶硅片无切割制备方法
0446多晶硅层及其制造方法
0447制作多晶硅薄膜的方法
0448低温多晶硅驱动电路
0449多晶硅铸锭炉的热场结构
0450用于产生结晶方向受控的多晶硅膜的系统和方法
0451多晶硅图案形成方法、多层交叉点电阻存储器及制造方法
0452多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
0453多晶硅刻蚀腔体
0454单层多晶硅可电除可程序只读存储单元的制造方法
0455用于使低温多晶硅薄膜面板平面化的多晶硅平面化溶液
0456多晶硅原料低能耗提纯制备方法
0457一种太阳能电池用多晶硅制造方法
0458有源驱动有机电致发光显示屏中多晶硅TFT阵列的制作方法
0459超厚多晶硅回刻的方法
0460多晶硅控制的回蚀刻显示器
0461一种转化四氯化硅制取三氯氢硅和多晶硅的方法
0462太阳能等级多晶硅的制备方法
0463在流化床反应器中制备颗粒状多晶硅的方法和装置
0464以高纯石英砂为原料生产太阳能级多晶硅的方法
0465多晶硅片水基清洗剂
0466用于多晶硅铸锭工艺的石墨加热器
0467具有多晶硅浮置隔片的镜像存储单元晶体管对的制造方法
0468带有多晶硅场板的功率MOS场效应管及其制造方法
0469基于多晶硅特性制作热剪切应力传感器的方法
0470多晶硅炉观察装置
0471合成多晶硅原料三氯氢硅的方法
0472多晶硅化学机械抛光液
0473多晶硅级连二极管
0474多晶硅薄膜晶体管
0475具有多晶硅电极的半导体器件
0476去除多晶硅中杂质磷和金属杂质的方法及装置
0477多晶硅沉积制程
0478多晶硅薄膜的制备方法
0479修复多晶硅栅极侧壁刻蚀损伤的方法及栅极的制造方法
0480物料完全循环的太阳能级多晶硅氢锌还原方法
0481制备太阳能级多晶硅的新工艺
0482一种DRAM的多晶硅栅极制作方法
0483用于对多晶硅膜进行抛光的化学机械抛光浆料组合物及其制备方法
0484低磷太阳能级多晶硅的制备方法
0485一种连续生产多晶硅锭的定向凝固方法及其装置
0486多晶硅薄膜的制备方法
0487多晶硅的刻蚀方法
0488高纯度多晶硅的制造装置及制造方法
0489一种化学冶金提纯多晶硅的方法
0490一种用于多晶硅铸锭工艺的真空压力连续控制方法及其控制系统
0491一种多晶硅铸锭炉控温热偶故障处理方法
0492一种适于制造大尺寸高纯度多晶硅铸锭的真空炉
0493晶粒尺寸可控的多晶硅薄膜制备及检测装置
0494多晶硅制造方法及制造装置
0495制造多晶硅的方法
0496用于区域精制的多晶硅棒及其生产方法
0497快开式、水冷结构的多晶硅还原炉
0498多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜
0499多晶硅还原炉之水冷电极
0500多晶硅单边去除方法
0501多晶硅膜阻值的测试方法
0502一种多晶硅尾气的净化方法以及使用该方法的净化装置
0503多晶硅层的制法、TFT及其制法及OLED显示装置
0504提高沟槽型双层栅功率MOS两多晶硅间击穿电压的方法
0505制造多晶硅薄膜的方法
0506一种流化床制备高纯度多晶硅颗粒的方法及流化床反应器
0507一种去除多晶硅中杂质磷的方法及装置
0508多晶硅的冶金提纯方法
0509镍溶液雾滴法制备碟型大晶畴多晶硅的方法及产品和应用
0510一种多晶硅薄膜的制备方法及其制备系统
0511生产多晶硅的方法
0512多晶硅铸锭炉自动控制系统及方法
0513高温真空预处理制备太阳能级多晶硅的方法
0514形成多晶硅的方法和采用多晶硅的薄膜晶体管及其制法
0515控制多晶硅移除的方法
0516提高多晶硅生产的方法及其装置
0517一种多晶硅定向凝固设备
0518一种多晶硅定向长晶热场结构
0519掩模与应用其形成多晶硅层的方法
0520一种制备多晶硅薄膜太阳电池的方法和装置
0521有机发光二极管低温多晶硅制造方法与激光退火结晶系统
0522单晶与多晶硅线切割用砂浆回收技术
0523从生产多晶硅所产生的尾气中回收氢气的方法
0524多晶硅铸锭炉同步提升装置
0525与CMOS兼容的单层多晶硅非易失性存储器
0526多晶硅的制法、薄膜晶体管及制法及有机发光二极管显示装置
0527制造n型多晶硅太阳能电池的方法
0528多晶硅铸锭炉及控制方法
0530太阳能级多晶硅的提纯装置及提纯方法
0531多晶硅的制造方法
0532用于多晶硅结晶的不透明石英坩埚及其制造方法
0533沟槽式多晶硅二极管
0534从生产多晶硅所产生的尾气中回收二氯二氢硅的方法
0535从生产多晶硅所产生的尾气中回收氯化氢的方法
0536一种从生产多晶硅所产生的尾气中循环回收氯化氢的方法
0537利用四氯化硅对生产多晶硅所产生的尾气进行回收的方法
0538可回收循环利用尾气中的氯化氢的多晶硅生产方法
0539一种湿法冶金除多晶硅中硼的方法
0540应变硅晶体管的锗硅和多晶硅栅极结构
0545制造低温多晶硅晶体管的多晶硅的组合设备工具
0546多晶硅薄膜晶体管离子注入机
0547多晶硅氢还原炉
0548非晶硅(多晶硅)家用小型太阳能发、用电装置
0549多晶硅氢还原炉
0550低温多晶硅薄膜晶体管
0551低温多晶硅薄膜晶体管
0552低温多晶硅薄膜晶体管基板
0553低温多晶硅显示装置
0554MTV播放器低温多晶硅显示装置
0555多晶硅太阳能发电并网装置
0556一种减少多晶硅生长工艺崩边的石英舟
0557多晶硅冶炼用调压变压器
0558制备多晶硅用铸锭炉
0559多晶硅定向凝固下拉晶体生长的重心驱动传动机构
0560有双重冷却系统的多晶硅还原炉
0561单/多晶硅薄膜及其组件的制备装置
0562多晶硅铸锭炉的炉体保护装置
0563一种多晶硅分凝铸锭炉
0564采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉
0565一种无需移动部件的多晶硅分凝铸锭炉
0566一种带水冷式双电极和软电缆的多晶硅铸锭炉
0567一种带可升降式保温罩的多晶硅铸锭炉
0568多晶硅制造装置
0569新型多晶硅还原炉
0570节能型多晶硅还原炉
0571多晶硅制造炉
0572多晶硅铸锭炉
0573多晶硅氯硅烷取样装置
0574带有多晶硅场板的功率MOS场效应管
0575用于多晶硅铸锭工艺的石墨加热器
0576晶粒尺寸可控的多晶硅薄膜制备及检测装置
0577多晶硅尾气净化装置
0578新型快开式、水冷结构的多晶硅还原炉
0579新型多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜
0580新型多晶硅还原炉之水冷电极
0581具有多晶硅装饰层的物品
0582多晶硅铸锭炉的热场结构
50583具有一层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构
0584具有五层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构
0585具有石墨冷却块保温条的多晶硅铸锭炉热场结构
0586多晶硅铸锭炉坩埚的护板
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